· 溫度傳感器精度：溫度傳感器的制造誤差會直接影響補償精度，低質量或低精度的傳感器容易出現較大測量誤差。同時，隨著使用時間增加，傳感器可能會出現老化漂移，導致測量性能變化。此外，若傳感器所處環境溫度不均勻，存在溫度梯度，或受到電磁干擾、濕度影響，以及接線不良、信號傳輸受干擾等，都會使溫度測量不準確，進而影響溫度補償精度。

· 試片與參考元件特性：試片和參考元件的材質特性對溫度補償至關重要。若二者材質的溫度系數不一致，就無法準確抵消溫度對電阻的影響。而且，長期使用后，試片可能因腐蝕導致材質變化，其電阻 - 溫度關系也會改變，影響補償精度。同時，參考元件若受到外界因素影響，如受潮、氧化等，使其電阻發生異常變化，也會破壞溫度補償的準確性。

· 腐蝕介質特性：不同腐蝕介質的熱導率、比熱容等熱物理性質不同，會影響探頭與介質間的熱交換速率，導致溫度分布不均勻，使溫度補償出現誤差。而且，溫度變化會改變腐蝕介質的物理性質，如黏度、電導率等，進而影響腐蝕速率，若溫度補償模型未考慮這些因素，就會降低補償精度。

· 探頭安裝方式：探頭安裝位置若靠近熱源或散熱源，會使局部溫度異常，影響溫度補償。若安裝過程中導致探頭與被測物體接觸不良，或周圍流體流動狀態異常，產生溫度梯度，也會對溫度測量和補償精度造成影響。此外，若探頭封裝材料的熱導率過高或過低，會影響熱量傳遞到溫度傳感器的速度和準確性，同樣會影響溫度補償精度。

· 溫度補償模型：溫度補償通常基于特定的模型或公式，若模型過于簡化，未充分考慮實際工況中的各種因素，如腐蝕速率與溫度的非線性關系、不同溫度下腐蝕機制的變化等，會導致補償誤差。而且，實際應用中環境復雜多變，若未根據具體情況對模型進行校準和修正，也會使補償精度下降。