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閃電定位儀的精度因技術原理、設備部署和環境因素等不同而有所差異，一般來說，二維閃電定位儀的水平定位精度在 500 米到 2 公里左右，三維閃電定位儀的水平定位精度可達到數十米到 500 米，垂直高度精度在 1 公里左右。具體如下：
基于電磁脈沖到達時間（TOA）的二維定位儀：通過測量閃電輻射的電磁脈沖到達多個站點的時間差來計算閃電位置，需多站組網，典型水平誤差為 500 米 - 2 公里，垂直誤差 1-3 公里。
基于方向角（DF）的二維定位儀：單站通過天線陣列測量閃電電磁脈沖的來波方向，結合多個站點的方向交會確定位置，受地形遮擋和電磁干擾影響較大，單獨使用時水平誤差可達數公里。
三維閃電定位儀：采用多站時差定位（TDOA） 空間交會算法或單站射頻干涉測量 高度解算算法，可同時獲取閃電的經度、緯度和垂直高度。如天津氣象雷達研究試驗中心升級的 DDW1 型三維閃電定位儀，定位精度可達數十米以內天津市氣象局。ZXCAWS750 三維閃電定位儀的平面定位精度為 160 米，高度定位精度為 300 米
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